Permet d’étudier les microstructures, les faciès de rupture et effectuer diverses analyses chimiques et microstructurales. Il peut être utilisé en mode pression variable. L’analyse par EDS permet d’obtenir des analyses chimiques semi-quantitatives ponctuelles, en balayage ou en cartographie. L’analyse WDS permet l’obtention d’analyses chimiques quantitatives. Finalement, l’EBSD permet la caractérisation de la texture cristallographique dans métaux et alliages.